氣體質(zhì)量流量計的工作原理主要分為層流壓差式和熱式兩種技術路線，其核心原理及特點如下：

一、層流壓差式原理

結(jié)構組成?：包含層流元件、壓差傳感器、溫度傳感器、電磁比例閥及控制電路?。

工作流程?：

氣體流經(jīng)層流元件時，湍流被規(guī)整為穩(wěn)定層流狀態(tài)，形成高壓端與低壓端的壓差?。

根據(jù)哈根-泊肅葉定律，層流狀態(tài)下體積流量與壓差呈線性關系，通過微處理芯片實時計算標況流量?。

控制電路動態(tài)調(diào)節(jié)電磁閥開度，實現(xiàn)毫秒級流量閉環(huán)控制?。

二、熱式原理

核心元件?：采用雙RTD鉑熱電阻，一個作為參考端，另一個為加熱測量端?。

測量機制?：

無流量時，測量端保持恒定加熱功率，與參考端存在固定溫差?。

氣體流動時，測量端熱量被帶走，溫差變化與流量成線性關系，通過信號轉(zhuǎn)換輸出流量值?。

三、其他技術類型

渦街式?：通過檢測流體經(jīng)過渦街發(fā)生器產(chǎn)生的漩渦頻率計算流量，適用于大范圍測量?。

渦輪式?：利用流體推動渦輪旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)速換算流量，常見于天然氣計量?。

四、應用對比

類型 優(yōu)勢 典型應用場景

層流壓差式 高精度、多氣體兼容 半導體、真空鍍膜?

熱式 微小流量測量、無需溫壓補償 生物醫(yī)藥、新能源?

注：科里奧利質(zhì)量流量計（精度±0.2%）等高端型號采用進口芯片，適用于高精度需求場景?。